MKS臭氧發生器AX8415、AX8410和AX8400區別

ALD和ALE工藝（yì）是（shì）要求臭氧技術持續進步的主要應用。如（rú）上所述，同時滿足應（yīng）用流程和濃度要求以及OEM的係統設（shè）計要求是臭氧發生器和（hé）係統技術開發的驅動力。MKS的（de）臭氧發生器和集成係統產品組（zǔ）合在推進臭氧技術以滿足這些要求方麵有著悠久的曆史。所有MKS臭氧發生器均采用介質阻擋放電法生產臭氧。隨著時間的推移，放電池結構的進步提高了（le）臭氧濃度，同時擴大了臭（chòu）氧生產的範圍，並確保其先進性（xìng）。

圖1顯示了MKS臭氧發生器技術（shù）基於臭氧產量（liàng）的進（jìn）步穩步增加。例如，MKS Instruments AX8400係列臭氧發（fā）生器（qì）是一種高度（dù）可配（pèi）置（zhì）的發生器，可滿足高達250克/小時（shí）的要求。MKS的AX8415和AX8410發電（diàn）機的目標應用是在緊湊的（de）外形中要求高濃度和高流動狀態。AX8415和AX8410旨在生產（chǎn）超清潔、高濃度的臭氧。MKS在AX8415和AX8410型號中引入的臭氧電池設計能夠支持濃（nóng）度高達425 g/Nm3（27.1 wt%）的臭氧輸送，流速高達80 slm。

客戶需要不斷優化其安裝基座的（de）壽命，因此，更新的發電機設計可以方便地與AX8415發電機集成，這是MKS設計的臭氧係（xì）統中SEMOZON®AX8407發電機的直接替代（dài）品。MKS Instruments設計的產品滿足設備製造商的臭氧輸送（sòng）應用（yòng）要（yào）求，提供完全集成的臭氧輸送係統，包括單個或多個（gè）發生器，具有集成的臭氧監測（cè）和安（ān）全裝置以及可選的臭氧銷毀裝置。這些（xiē）係統是使用專有和適應性（xìng）材料設計的，以滿足半導（dǎo）體環境和質量標準。例如，氧化膜工藝可能需要（yào）三個或四個獨立發生器的臭氧係統配置（zhì），以5至10slm將250g/Nm3的臭氧輸送到三室或四室ALD工具（jù）。

另一個例子是25至50片的垂直間歇式反應器，其可能需要180至200g/Nm3的70至100slm的臭氧。用於批量ALD應用的臭氧係統需要具有單個輸出或一個（gè）通道的多發生器臭氧係統的支持。係統中的每（měi）個額外的發生器都擴展了給定濃度的流（liú）量範圍。例如，單個AX8415發生器在15slm下產生300g/Nm3的臭氧濃度。另一台發電機的加入使係統的輸出在30slm時提高到300g/Nm3。因此，四發生器單通道係統能夠在（zài）60 slm下達到300 g/Nm3。通過（guò）增加發（fā）電機，臭氧濃度保持不變；然（rán）而（ér），產生的（de）臭氧總量顯（xiǎn）著增加。MKS為所有（yǒu）生產ALP設備（bèi）的原（yuán）始設備（bèi）製造商提供臭氧輸送係統（tǒng）。MKS臭氧輸（shū）送係統與立式爐（lú）、空間ALD工具（jù）和（hé）腔室（shì）沉積係統一起使（shǐ）用。每個臭氧輸送係統都（dōu）有其特（tè）定的應用要求，與主要工藝工具的要求相一致，以確保很終用戶能夠沉積很高質量的薄膜或去除特定的原子層。