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半導體(tǐ)用臭氧水去除有機(jī)物質臭(chòu)氧(yǎng)濃度需要達到多少
使用臭氧水可去除的物質以及所需臭氧的濃度
利用臭氧的強氧化能力,可以實現分解並(bìng)去除大量的雜(zá)質。
根據雜質(zhì)的形(xíng)狀與數量的(de)不(bú)同,所需濃度也將有所變化,請參考下圖數據。
此外(wài),如(rú)將稀氫(qīng)氟酸(suān)與臭氧水同時使用,去除雜質的效果(guǒ)將(jiāng)倍增(zēng)。